یکی از چالشهای مهم در ساخت قطعات نیمرسانای آلی، ساخت یک زیر لایه ی مناسب است. در این پژوهش آماده سازی یک الکترود شفاف به عنوان زیرلایه جهت ساخت یک دیود نورگسیل آلی مورد بررسی قرار گرفته است. به این منظور، ابتدا یک لایه نازک از اکسید قلع و ایندیوم (ITO) را روی بستره­ای از شیشه انباشت نمودیم و سپس با دو فرآیند بمباران یونی و بمباران توسط میکروپودر آلومینا سطح آن را بهبود بخشیدیم. طیف عبور الکترود در ناحیه مرئی به وسیله­ی دستگاه طیف سنج دوپرتویی اندازه گیری شد. همچنین مقاومت سطحی پوشش توسط دستگاه پروب چهارسر اندازه گیری شد. کیفیت سطح قطعه توسط تصاویر میکروسکوپ AFM بررسی شد. بررسی­ها نشان داد که انحراف معیار سطح و فاصله­ی قله-دره پس از انجام عملیات سطحی بهبود چشمگیری داشته است. پس از این بررسی ها روی زیرلایه، با به کار بردن آنها در ساخت دیود و اندازه گیری منحنی ولتاژ جریان، افزایش کارایی قطعات را به صورت تجربی نشان داده­ایم.