اشتراک در خبرنامه
لطفاً نشانی پست الکترونیک خود را برای دریافت اطلاعات و اخبار پایگاه در کادر زیر وارد کنید.
آمار سایت
- کل کاربران ثبت شده: 1961 کاربر
- کاربران حاضر در وبگاه: 0 کاربر
- میهمانان در حال بازدید: 185 کاربر
- تمام بازدید‌ها: 21772862 بازدید
- بازدید ۲۴ ساعت گذشته: 14676 بازدید
کنفرانس های انجمن
همایش
اپتیک و فوتونیک،
بهمن 1403
(برگزار شد)
استفاده از مطالب ارائه شده در این پایگاه با ذکر منبع آزاد می باشد.
جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال21 صفحات 992-989 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Shahbazi A H, Madani Pour K, Koohian A. Quality Determination of Laser Scanning in Optical Mask Construction by Modulation Transfer Function. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2015; 21 :989-992
URL: http://opsi.ir/article-1-865-fa.html
URL: http://opsi.ir/article-1-865-fa.html
شهبازی امیر حسین، معدنی پور خسرو، کوهیان عطا الله. تعیین کیفیت جاروب لیزری برای ساخت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1393; 21 () :989-992
1- دانشگاه تهران
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
چکیده: (3863 مشاهده)
یکی از روش‌های لیتوگرافی، جاروب لیزری است. این روش همچنین در ساخت ماسک اپتیکی کاربرد دارد. در مقاله پیش‌رو روشی برای تعیین کیفیت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون ارائه می‌گردد. برای ساخت ماسک از لایه نازک اکسید مس که جذب بالایی در طیف مرئی و فرابنفش دارد، به همراه جاروب لیزر پرتوان 532nm استفاده شد. همچنین تصویر ماسک به کمک میکروسکوپ ذخیره و بعد از تصحیح آن و تبدیل فوریه ، تابع انتقال مدولاسیون تشکیل و معیاری از کیفیت بدست می‌آید.
ارسال پیام به نویسنده مسئول
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |
