اشتراک در خبرنامه

لطفاً نشانی پست الکترونیک خود را برای دریافت اطلاعات و اخبار پایگاه در کادر زیر وارد کنید.


آمار سایت

  • کل کاربران ثبت شده: 1962 کاربر
  • کاربران حاضر در وبگاه: 0 کاربر
  • میهمانان در حال بازدید: 653 کاربر
  • تمام بازدید‌ها: 21888696 بازدید
  • بازدید ۲۴ ساعت گذشته: 46207 بازدید

کنفرانس های انجمن 



 

استفاده از مطالب ارائه شده در این پایگاه با ذکر منبع آزاد می باشد.

سال 28، شماره 2 - ( مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و هشتمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران 1400 )                   ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال28 صفحات 897-894 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

ghazanfar M, Behroodi E, Latifi H. Design and Fabrication of an Auto-Focus System Based on Astigmatism Method for Direct Write Laser Lithography. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2022; 28 (2) :894-897
URL: http://opsi.ir/article-1-2622-fa.html
غضنفر محسن، بحرودی ابراهیم، لطیفی حمید. طراحی و ساخت سیستم خودکانونی به روش آستیگماتیسم جهت استفاده در لیتوگرافی لیزری. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1400; 28 (2) :894-897

URL: http://opsi.ir/article-1-2622-fa.html


1- دانشگاه شهید بهشتی تهران
چکیده:   (719 مشاهده)
چالش‏های متعددی در ساخت مدار‏های مجتمع فوتونیکی وجود دارد. یکی از چالش‏های ساخت این نوع از مدار‏ها، خودکانونی بلادرنگ پرتو لیزر بر روی سطح فوتورزیست در لیتوگرافی لیزری است. در این راستا یک سیستم خودکانونی طراحی و ساخته شد. این سیستم بر اساس روش آستیگماتیسم عمل می‏کند. این سیستم خودکانونی می تواند با دقت ۱۳۰ نانومتر ناهمواری‏های سطح فوتورزیست را تشخیص داده و بدون استفاده از نرم‏افزار و به صورت یک سیستم خوداتکا با سرعت بسیار بالا در هنگام لیتوگرافی لیزری عمل کند.
متن کامل [PDF 987 kb]   (483 دریافت)    
نوع مطالعه: تجربی | موضوع مقاله: تخصصی

ارسال پیام به نویسنده مسئول


بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است.

کارگاه‌ها و مدارس

(پایان ثبت نام)



 

(پایان ثبت نام)


کارگاه‌های مرتبط با توسعه
کسب و کار فوتونیک
اردیبهشت و خرداد ۱۴۰۴
(در حال ثبت نام)



 

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به انجمن اپتیک و فوتونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2025 All Rights Reserved | Optics and Photonics Society of Iran

Designed & Developed by : Yektaweb