fa ساخت سیلیکان متخلخل در تخلخل های مختلف جهت کاربردهای رسانای نوری تخصصی Special پژوهشي Research <p><b><span lang="FA">سیلیکان متخلخل در صنعت اپتوالکترونیک به خصوص در دیود های نوری و سلول های خورشیدی کاربرد بسیاری دارد. در این مقاله، سیلیکان متخلخل از ویفر سیلیکان نوع </span></b><span dir="ltr">p</span><b><span> </span></b><b><span lang="FA">تحت چگالی جریان های </span></b><span dir="ltr">20, 25, 30, 35 mA/cm^{<font size="2">2</font>}</span><b><span lang="FA"> و زمان خوردگی و غلظت محلول الکترولیت ثابت در فرآیند آندی سازی ساخته شد. میزان تخلخل و ضخامت لایه ها با توجه به تصاویر </span></b><span dir="ltr">SEM</span><b><span> <span lang="FA">و توسط نرم افزار </span></span></b><span dir="ltr">Digimizer</span><b><span> </span></b><b><span lang="FA">محاسبه شدند. طبق آزمایش های انجام شده با افزایش چگالی جریان خوردگی، میزان تخلخل و ضخامت لایه ها افزایش می یابد.</span></b><span dir="ltr"><!--stripped--><!--stripped--></span></p> <p>Porous silicon has many applications in optoelectronics industry especially in light emitting diodes and solar cells. In this paper, porous silicon was made from p-type silicon under current densities of 20, 25, 30, and 35 mA/cm^{<font size="2">2</font>} with constant etching time and electrolyte concentration at anodizing process. Porosity and thickness of layers were measured by SEM images and Digimizer software. According to our results, porosity and thickness of layers increase with increasing etching current density.</p> رسانای نوری, سیلیکان, سیلیکان متخلخل. Optical conductive, Silicon, Porous silicon. 640 643 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-968&slc_lang=fa&sid=1 Maryam Ghezelayagh مریم قزل ایاغ ghezelayagh_m@yahoo.com 10031947532846004343 10031947532846004343 Yes Alzahra University دانشگاه الزهرا Reza sabet Dariani رضا ثابت داریانی sabetdariani@gmail.com 10031947532846004344 10031947532846004344 No Alzahra University دانشگاه الزهرا