fa ساخت ماسک لیتوگرافی موجبر ماخ – زندر به کمک جاروب لیزری تخصصی Special پژوهشي Research <p>در این مقاله به نحوه ساخت ماسک لیتوگرافی یک به یک جهت تولید انواع موجبرها و بطور خاص موجبر ماخ-زندر در بستر الکترواپتیک پرداخته‌ایم. برای این کار ابتدا روی زیرلایه‌ای از جنس شیشه، لایه نازکی از مس لایه‌نشانی کرده و سپس با استفاده از جاروب لیزری طرح‌واره موجبر ماخ &ndash; زندر روی آن ایجاد می‌گردد. لیزر مورد استفاده از نوع دیودی با طول موج 405nm و توان 65mW می‌باشد. پهنای کندگی به ازای ضخامت لایه‌نشانی شده 100nm، 8.5&micro;m می‌باشد. زاویه میان شاخه‌های ایجاد شده در اتصال Y ماسک ماخ &ndash; زندر 2.8&deg; در نظر گرفته شده است.</p> <p>In this paper we describe a technique to construct a photo-mask which is used for Mach &ndash; Zehnder wave-guide. For this goal, a copper thin-film on glass substrate was deposited. Then with laser scanning ablation, the pattern of Mach &ndash; Zehnder wave-guide is created on the sample. A diode laser with wavelength of 405nm and total power of 65mW was used. The width of ablation is 8.5&micro;m for a thin-film with a thickness of 100nm. The angle of Y junction is 2.8&deg;.</p> جاروب لیزری, لایه نازک مس, ماسک لیتوگرافی, موجبر ماخ – زندر Copper Thin-Film, Laser Scanning, Photomask, Mach – Zehnder waveguide 750 753 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-932&slc_lang=fa&sid=1 Amir Hossein Shahbazi امیر حسین شهبازی amir.shahbazi@ut.ac.ir 10031947532846004231 10031947532846004231 Yes University of Tehran دانشکده فیزیک دانشگاه تهران Mohammad Azadeh محمد آزاده m.azadeh@ut.ac.ir 10031947532846004232 10031947532846004232 No University of Tehran دانشگاه تهران Khosro Madani Pour خسرو معدنی پور madanipour@aut.ac.ir 10031947532846004233 10031947532846004233 No AmirKabir University of Tech. دانشگاه صنعتی امیرکبیر Ata Koohian عطا کوهیان koohian@ut.ac.ir 10031947532846004234 10031947532846004234 No University of Tehran دانشکده فیزیک دانشگاه تهران