fa تعیین کیفیت جاروب لیزری برای ساخت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون تخصصی Special پژوهشي Research یکی از روش‌های لیتوگرافی، جاروب لیزری است. این روش همچنین در ساخت ماسک اپتیکی کاربرد دارد. در مقاله پیش‌رو روشی برای تعیین کیفیت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون ارائه می‌گردد. برای ساخت ماسک از لایه نازک اکسید مس که جذب بالایی در طیف مرئی و فرابنفش دارد، به همراه جاروب لیزر پرتوان 532nm استفاده شد. همچنین تصویر ماسک به کمک میکروسکوپ ذخیره و بعد از تصحیح آن و تبدیل فوریه ، تابع انتقال مدولاسیون تشکیل و معیاری از کیفیت بدست می‌آید. Laser scanning is one of the methods used in Lithography. It’s also useful in optical mask construction. In this paper a method for quality determination of optical mask is presented. The method is based on Modulation Transfer Function (MTF). In order to construct an optical mask, a copper thin film (with high absorption in visible and UV spectra) and a high power 532nm scanning laser is utilized. Finally MTF is formed using Fourier transform of the mask image which could be interpreted as a quality factor. تابع انتقال مدولاسیون, جاروب لیزری, لایه نازک مس و ماسک اپتیکی Modulation transfer function, laser scanning, copper thin film, and optical mask 989 992 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-845&slc_lang=fa&sid=1 Amir Hossein Shahbazi امیر حسین شهبازی amir.shahbazi@ut.ac.ir 10031947532846003933 10031947532846003933 Yes University of Tehran دانشگاه تهران Khosrow Madani Pour خسرو معدنی پور madanipour@aut.ac.ir 10031947532846003934 10031947532846003934 No AmirKabir University of Technology دانشگاه صنعتی امیرکبیر Ataollah Koohian عطا الله کوهیان koohian@ut.ac.ir 10031947532846003935 10031947532846003935 No University of Tehran دانشگاه تهران