fa اندازه گیری ضخامت لایه نازک با استفاده از فاصله فرینه های توزیع شدت از هم در نقش پراش فرنل از پله فازی تخصصی Special پژوهشي Research <span lang="FA" dir="rtl" style="font-size: 12pt font-family: 'B Nazanin'">توزیع شدت و فاصله­های فرینه های آن در نقش پراش فرنل از پله به ارتفاع پله و زاویه فرود نور بستگی دارد.این بستگی جهانی است و با داشتن نمودارهای نظری فواصل فرینه های شدت بر حسب فاز می توان فاز ناشی از پله و ارتفاع آن را با دقت قابل­ توجهی تعیین کرد. با استفاده از این نمودارها و مقایسه آنها با داده ­های تجربی حاصل از نقش پراش چندین پله­ با ارتفاع­ های مختلف، فاز ناشی از پله­ ها و ضخامت آن­ها را با دو طول موج 532 و 632.8 نانومتر اندازه گرفتیم. عدم قطعیت در اندازه گیری ها کمتر از چند نانومتر است.</span> <div style="text-align: left"><i style="font-size: 12px line-height: 2.2"><span style="font-size: 10pt font-family: 'Cambria Math', serif">In Fresnel diffraction from a phase step, the intensity profile and spacing between its extremum points have a universal dependence on step height and light's incident angle. Therefore, plotting variations of the distances of these extrema versus the phase, provides the phase due to the step and the height of the step with remarkable accuracy. We've applied these plots on experimentally obtained data of diffraction patterns from steps with different heights to measure their thickness, using two wavelengths, 532nm and 632.8nm.The uncertainty of the results is less than few nanometers.</span></i></div> پراش فرنل,پله فازی ,ضخامت لایه, فرینه های شدت Extrema, Fresnel diffraction, Thickness, Thin film 777 780 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-691&slc_lang=fa&sid=1 Yasaman Ganjkhani یاسمن گنج خانی y.ganjkhani@ut.ac.ir 10031947532846003465 10031947532846003465 Yes Tehran university دانشگاه تهران Mohammad Taghi Tavassoli محمدتقی توسلی tavasoli@iasbs.ac.ir 10031947532846003466 10031947532846003466 No Tehran university دانشگاه تهران Seyed Roohollah Hosseini روح الله حسینی sr_hosseini@ut.ac.ir 10031947532846003467 10031947532846003467 No Tehran university دانشگاه تهران Morteza Jafari Siavashani مرتضی جعفری سیاوشانی m.siavashani@iasbs.ut.ac.ir 10031947532846003468 10031947532846003468 No IASBS ,Zanjan دانشگاه تحصیلات تکمیلی علوم پایه زنجان Ataollah Koohian عطاءالله کوهیان koohian@ut.ac.ir 10031947532846003469 10031947532846003469 No Tehran university دانشگاه تهران