fa مدل سازی کندوسوز حرارتی با لیزر موج پیوسته در لیتوگرافی جاروب لیزری بر لایه نازک مس تخصصی Special پژوهشي Research پدیده کندوسوز در فرآیند برهم‌کنش لیزر با ماده، معمولا با لیزرهای پالسی روی می‌دهد. در مورد لیزرهای پیوسته وقتی شدت فرودی به اندازه کافی زیاد باشد نیز فرآیند کندوسوز حرارتی روی می‌دهد که منجر به تبخیر یا تصعید ماده خواهد شد. در این کار از یک لیزر پیوسته برای فرآیند تولید ماسک براساس لیتوگرافی جاروب لیزری استفاده شده است. مدلی برای استفاده از یک لیزر پیوسته در فرآیند کندوسوز ارائه شده است که در آن با توجه به ماهیت جاروبی لیتوگرافی، شار انرژی رسیده به هر نقطه به صورت پالس زمانی در نظر گرفته شده است. انرژی پالس لیزری با داشتن توان، اندازه لکه و سرعت جاروب نمونه تحت تابش، بدست می‌آید. سپس کندوسوز در بستر لایه نازک مس با این مدل شبیه سازی شده و تأثیر انرژی پالس لیزری بر این کندوسوز مورد بررسی قرار گرفته است. همچنین با رسم منحنی داده های بدست آمده از این مدل‌سازی، انرژی پالس آستانه کندوسوز لیزری برای لایه نازک مس با ضخامت 150 نانومتر محاسبه شده است. ablation phenomena in the process of laser interaction with matter, usually occurs with pulsed lasers. In the case of cw lasers when incident intensity is high enough the thermal ablation process occurs will lead to evaporation or sublimation of matter. In this work, a cw laser for mask manufacturing process based on laser scanning lithography is used. a model for using the cw laser in ablation process is presented in which due to the scanning nature of lithography,the energy flux received by each point is intended as a time pulse. The laser pulse energy obtained with the power, spot size and the scanning speed of the sample exposed to radiation. in the following, laser ablation of copper thin-film has been simulated and the effect of laser pulse energy ablation has been investigated. Also by curve fitting the data obtained from this modeling, threshold pulse energy of ablation for copper thin-film with a thickness of 150nm has been calculated. کندوسوز حرارتی, لیتوگرافی جاروب لیزری, لایه نازک مس. Thermal Ablation, Laser Scanning Lithography, Copper Thin-Film. 377 380 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-521&slc_lang=fa&sid=1 Omid Choupanian امید چوپانیان Omid.Chopanian@gmail.com 10031947532846002965 10031947532846002965 No دانشگاه امیرکبیر khosro maadanipour خسرو معدنی پور madanipour@aut.ac.ir 10031947532846002966 10031947532846002966 Yes دانشگاه امیرکبیر