fa بررسی چگالی و دمای الکترون در اتاقک چشمه پلاسمای موج سطحیِ راستگوشه با روش تفاضل-محدود تخصصی Special پژوهشي Research چشمه های پلاسمائی در دهه های اخیر به واسطه کاربردهای فراوانی که ایجاد کرده اند، بطور گسترده مورد استفاده قرار می گیرند. در این مقاله با معرفی مدلی برای شبیه سازی سه بعدی و خودسازگار از چشمه پلاسمای موج سطحیِ راستگوشه، معادلات سیالیِ پلاسما در اتاقک چشمه پلاسمائی با روش تفاضل-محدود گسسته سازی می شوند. در ادامه، روابط تفاضلی حاصل از معادلات دیفرانسیلی جزئی غیرخطی با روش واهلشی برای دو پارامتر پلاسما، یعنی چگالی و دمای الکترون در سه بعد حل می شوند. مسئله برای دو مقدار فشار گاز داخل اتاقک پلاسما (آرگون) بررسی می شود. Since the plasma sources have many applications, they have been widely interested in recent years. In this article, by presenting a three-dimensional (3-D) and self-consistent model of the rectangular surface wave plasma source, the plasma fluid equations are discretized by the finite-difference (FD) method in the chamber of the plasma source. Following this, the differential relations resulted from the nonlinear PDEs are solved by the relaxation method for the two plasma parameters, plasma density and electron temperature, in three dimensions. The problem is studied for the two different values of argon gas pressure in the plasma chamber. چشمه پلاسمای موج سطحی, روش تفاضل-محدود, مدل سیالی. Surface wave plasma, finite-difference (FD) method, fluid model. 157 160 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-478&slc_lang=fa&sid=1 Muhammad Reza Khajehmirzaei محمدرضا خواجه میرزائی muhamadr.kh@gmail.com 10031947532846002853 10031947532846002853 Yes تهران – دانشگاه شهید بهشتی – پژوهشکده لیزر و پلاسما Ali Reza Niknam علیرضا نیکنام a-niknam@sbu.ac.ir 10031947532846002854 10031947532846002854 No