fa شبیه سازی و ساخت تزویجگر سمتی به روش لیتوگرافی نگاشت مستقیم لیزری تخصصی Special تجربی Experimental در این مقاله، ساخت تزویجگرهای سمتی بر پایه­ی ماده­ ی پلیمری SU-8 مورد بررسی قرار گرفته است. به منظور یافتن پارامترهای بهینه تزویجگر سمتی از نرم ­افزار شبیه سازی اپتی­ویو استفاده شده است. برای ساخت تزویجگر سمتی از روش لیتوگرافی نگاشت مستقیم لیزری استفاده شده است. تزویجگر سمتی از دو موجبر یکسان و نزدیک به هم تشکیل شده است. به واسطه­ ی جفت­ شدگی میدان­­های میرا مدهای منتشر شده در هریک از موجبرها، انرژی می­تواند میان دو موجبر انتقال ­یابد. در این مقاله، جفت­شدگی نور بین دو موجبرِ تزوجیگر ­سمتی نیز مورد بررسی قرار گرفته است. از تزویجگرهای سمتی می‌توان به عنوان فیلترهای نوری، مدولاتور شدت و سوئیچ ­های نوری استفاده کرد. In this paper, the fabrication of directional coupler based on SU-8 polymer material is investigated. In order to find the optimal parameters of directional coupler, Optiwave software, which is simulation software, is used. Direct laser mapping lithography method is used to fabricate directional coupler. The directional coupler consists of two identical waveguides, which are close to each other. Energy can be transferred between two waveguides due to the coupling of evanescent fields, which are propagating in each waveguide. In this paper, the light coupling between two waveguides is also studied. The directional coupler is used as optical filters, intensity modulators and optical switches تزویجگر سمتی, جفت شدگی نور, لیتوگرافی, ماده‌ی پلیمریSU-8 , نگاشت مستقیم لیزری. directional coupler, light coupling, lithography, SU-8 polymer material, Direct write laser . 877 880 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1971-219&slc_lang=fa&sid=1 hossein Heidaryzefreh حسین حیدری زفره h.heidaryzefreh@sci.ui.ac.ir 100319475328460010748 100319475328460010748 Yes Razieh Talebi راضیه طالبی r.talebi@sci.ui.ac.ir 100319475328460010749 100319475328460010749 No