fa ساخت کانال‌های میکرونی به روش پشت‌نگاری لیزری در شیشه و مشخصه‌یابی آن‌ها تخصصی Special پژوهشي Research <span dir="RTL"><span style="font-family:Arial,sans-serif;"><span style="font-size:11.0pt;">در این کار، گزارش ساخت و مشخصه‌&shy;یابی کانال&shy;‌های میکرونی به روش پشت‌&shy;نگاری لیزری ارائه شده است. با انتخاب هدف فلزی از جنس استیل و لیزر نئودیوم-یاگ ۱۰۶۴ نانومتر برای کندوسوز، کانال&shy;‌های میکرونی در بسترهای شیشه‌&shy;ای ایجاد شده است. شاریدگی از ۵۳/۰ تا ۵۶/۰ با گام&shy;‌های ۰۱/۰ ژول بر سانتی&shy;مترمربع تغییر داده شده و تعداد پالس‌&shy;ها برخوردی برابر با ۶۰</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:Arial,sans-serif;"><span style="font-size:11.0pt;">و ۹۰ &nbsp;بوده است. نتایج بیانگر آن است مشخصه شاریدگی لیزر اثر بیش&shy;تری در تغییر اندازه کانال‌&shy;ها و توزیع ضریب جذب آن‌&shy;ها دارد. </span></span></span> <strong>In this work, fabrication of micro-channels by laser back-writing technique and their characterization is reported. Using a steel metal target and a Nd:YAG laser source (1064 nm) for ablation, micro-channels were fabricated in glass substrates. Laser fluenece was varied between 0.53 to 0.56 with paces of 0.01 J/cm², and the total number of pulses were 60 and 90. The results show that the laser fluence play a more important role in changing the size and optical absorption distribution of the micro-channels.</strong> پشت‌نگاری لیزری؛ کانال‌های میکرونی؛ ضریب جذب Laser back-writing, micro-channels, absorption coefficient 55 57 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1972-20&slc_lang=fa&sid=1 Fatemeh Azizpour فاطمه عزیزپور 100319475328460010014 100319475328460010014 No Department of Physics, Iran University of Science and Technology, Tehran, Iran دانشکده فیزیک، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران، ایران Mohammad Reza Rashidian Vaziri محمدرضا رشیدیان وزیری 100319475328460010015 100319475328460010015 Yes Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده‌ی فوتونیک و فناوری‌های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، تهران، ایران Mohammad Reza Jafarfard محمدرضا جعفرفرد 100319475328460010016 100319475328460010016 No Department of Physics, Iran University of Science and Technology, Tehran, Iran دانشکده فیزیک، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران، ایران Hedieh Pazokian هدیه پازکیان 100319475328460010017 100319475328460010017 No Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده‌ی فوتونیک و فناوری‌های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، تهران، ایران Mohsen Montazerolghaem محسن منتظرالقائم 100319475328460010018 100319475328460010018 No Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده‌ی فوتونیک و فناوری‌های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، تهران، ایران