fa ایجاد کانال­‌های میکرومتری به روش پلیمریزاسیون دوفوتونی با استفاده از تپ­‌های لیزری فمتوثانیه ​​​​​​​ تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در روش پلیمریزاسیون دوفوتونی، از فرآیندهای غیرخطی جذب دوفوتونی و یا چند فوتونی استفاده می&shy;‌شود. برای اینکه جذب دو فوتونی و یا چند فوتونی در طول موجی که جذب تک فوتونی ماده قابل چشم</span></span><span style="font-family:Cambria,serif;"><span style="font-size:11.0pt;">&shy;‌</span></span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">پوشی است، القاء شود به چگالی توان قله بالایی نیاز است. در این مقاله با استفاده از تپ&shy;‌های پرشدت فمتوثانیه لیزر تیتانیوم سفایر و ماده فوتورزیست مثبت </span></span><span dir="LTR">S1813</span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">، امکان ایجاد کانال‌&shy;های میکرومتری بررسی شده است. با تغییر توان میانگین باریکه لیزر، کیفیت کانال ایجاد شده مورد بررسی قرار گرفته است. بهینه کانال ایجاد شده با قطر 8 میکرومتر با تپ&shy;‌های لیزری با پهنای زمانی 45 فمتوثانیه و توان میانگین 94 میلی&shy;وات حاصل شده&shy;‌است. </span></span></strong><br> &nbsp; The two photon polymerization method is based on nonlinear processes such as two photon or multi photon absorption. In order to observe two-photon absorption or multi-photon absorption for materials that have negligible one-photon absorption coefficient at the laser wavelength the high peak power density is needed. In this paper creation of micro channels on positive photoresist S1813 with high intensity femtosecond pulses of Ti:Sapphire laser has been investigated experimentally. The quality and size of channels is investigated by changing the mean power of the laser beam.&nbsp; The optimum channel with 8 &mu;m diameter, has been made by pulses with 45 femtosecond duration and 94 mW mean power of the laser beam.<br> &nbsp; پلیمریزاسیون دوفوتونی, تپ فمتوثانیه, حکاکی لیزری, فوتولیتوگرافی, فوتورزیست two photon polymerization, femtosecond pulse, direct laser writing, photolithography, photoresist 17 20 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2274&slc_lang=fa&sid=1 Eftekhar Bostandoust افتخارسادات بستان دوست 10031947532846009329 10031947532846009329 Yes Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران Taymaz Fathollahi khalkhali تایماز فتح الهی خلخالی 10031947532846009330 10031947532846009330 No Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران Fereshteh Hajiesmaeilbaigi فرشته حاج اسماعیل بیگی 10031947532846009331 10031947532846009331 No Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران Hosein Razaghi حسین رزاقی 10031947532846009332 10031947532846009332 No Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران Asma Motamedi اسماءالسادات معتمدی 10031947532846009333 10031947532846009333 No Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران Reza Goodarzi رضا گودرزی 10031947532846009334 10031947532846009334 No Photonics and Quantum Technologies Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, Tehran, Iran پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران