fa طراحی میکرو حسگر فشار بر پایه دو تشدیدگر حلقوی آبشاری تخصصی Special پژوهشي Research <span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">یک&nbsp; میکرو حسگر سیلیکونی بر پایه تشدیدگر حلقوی دو طبقه‌ برای اندازه‌گیری فشار طراحی شد که بر روی یک دیافراگم مستطیلی شکل از سیلیکون-سیلیکا&nbsp; قرار گرفته است. میزان خمیدگی و جابجایی مکانی دیافراگم در اثر فشار ثابت وارد بر دیافراگم و پاسخ طول موجی حسگر به ترتیب با استفاده از روش المان محدود و روش تاخیر خط سیگنال&nbsp; شبیه‌سازی شدند.&nbsp; حسگر&nbsp; طراحی شده دارای حساسیت </span></span><span dir="LTR"><span style="font-size:12.0pt;">pm/kPa </span></span>41<span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> است که نسبت به دیگر حسگر های فشار بر پایه نور دارای حساسیت قابل توجهی است</span></span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">.</span></span><span style="font-family:B Nazanin;"></span><br> <span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"></span></span> A micro-size pressure sensor is designed using the cascaded ring resonator. The sensor consisted of two ring resonator of silicon core waveguide on the silica substrate that placed on the rectangular silicon-diaphragm. The deflection and displacement of diaphragm under the applied pressure is calculated using finite element method. The wavelength response of the sensor is simulated using the delay line signal approach. The sensitivity of 41pm/kPa is achieved for the proposed sensor that is quite higher sensitivity rather than the conventional optical-based pressure sensors<span dir="RTL">.</span><span dir="RTL"></span><br> &nbsp; حسگر فشار,میکرو تشدیدگر حلقوی,تشدیدگر آبشاری دو طبقه pressure sensor, cascaded ring resonator,double stage microring 100 102 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2245&slc_lang=fa&sid=1 Abbas Kalate Seyfari عباس کلاته سیفری 10031947532846009220 10031947532846009220 No Department of Physics, Shiraz University of Technology, 31371555, Shiraz, Fars, Iran. گروه فیزیک، دانشکده علوم دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایران Mahdi Bahadoran مهدی بهادران 10031947532846009221 10031947532846009221 Yes Department of Physics, Shiraz University of Technology, 31371555, Shiraz, Fars, Iran. گروه فیزیک، دانشکده علوم دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایران Gholamreza Honarasa غلامرضا هنر آسا 10031947532846009222 10031947532846009222 No Department of Physics, Shiraz University of Technology, 31371555, Shiraz, Fars, Iran. گروه فیزیک، دانشکده علوم دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایران