fa مشخصه یابی فرآیند laser backwriting با تغییر شاریدگی و تعداد پالس تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در این مقاله به بررسی فرآیند </span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="font-size:9.0pt;">laser backwriting</span></span></strong> <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">پرداخته شده است. بدین منظور استیل به عنوان نمونه&shy;ی هدف جهت کندگی و نفوذ یون&shy;ها داخل زیرلایه کوارتز، توسط لیزر پالسی کیوسوئیچ شده&shy;ی </span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="font-size:9.0pt;">Nd:YAG</span></span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> مورد تابش قرار گرفت. میکروکانال&shy;های ایجاد شده طی بر هم کنش مواد کنده شده با زیرلایه کوارتز مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان می&shy;دهد عمق کانال به تعداد پالس و شاریدگی&shy;های مختلف لیزر بستگی دارد . همچنین در یک شاریدگی و تعداد پالس آستانه پلاسمون</span></span></strong><span dir="LTR"><span style="font-size:11.0pt;">&shy;</span></span><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">های سطحی شکل گرفته است. برای مشخص کردن میزان نفوذ یون&shy;ها داخل کوارتز و جذب از طیف&shy;سنجی </span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="font-size:9.0pt;">UV-Visible</span></span></strong> <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">و برای اندازه&shy;گیری عمق کانال از پروفایلومتری سطح استفاده شده است. &nbsp;</span></span></strong> <strong>In this paper laser backwriting process was investigated<span dir="RTL">.</span> The steel target was ablated onto the quartz substrate by pulsed Nd:YAG laser irradiation. microchannels &nbsp;formed following interaction of the ablated particles with the substrate, were studied. The results show that the depth of the channels depends on the number of pulses and the laser fluences. In addition at a threshold fluence and number of pulses the surface plasmons were formed. UV-Visible spectroscopy and the surface profilometery were used for the investigation of the absorption and ion penetration rates in to the substrate, respectively. </strong> کوارتز, فرآیند laser backwriting, لیزر پالسی Nd:YAG Quartz, Laser backwriting process, Nd:YAG pulsed laser 617 620 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2113&slc_lang=fa&sid=1 Shabnam Abbasi شبنم عباسی 10031947532846008733 10031947532846008733 Yes Physics Department, Iran University of science and technology, Tehran, Iran دانشگاه علم و صنعت ایران Mohammad reza Jafarfard محمدرضا جعفرفرد 10031947532846008734 10031947532846008734 No Physics Department, Iran University of science and technology, Tehran, Iran دانشگاه علم و صنعت ایران Davoud Razzaghi داوود رزاقی 10031947532846008735 10031947532846008735 No Photonic and Quanum technologies research school, Nuclear science and technology research Institue, Tehran, Iran پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای Mohsen Montazerolghaem محسن منتظرالقائم 10031947532846008736 10031947532846008736 No Photonic and Quanum technologies research school, Nuclear science and technology research Institue, Tehran, Iran پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای Hedieh Pazokian هدیه پازکیان 10031947532846008737 10031947532846008737 No Photonic and Quanum technologies research school, Nuclear science and technology research Institue, Tehran, Iran پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای