fa ساخت و مشخصه‌یابی قطبشی موجبرهای SU8 در مدارهای مجتمع نوری تخصصی Special پژوهشي Research <span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">در این مقاله ابتدا به اهمیت مدارهای مجتمع نوری در تکنولوژی امروز و انواع مواد مورد استفاده در ساخت این مدارات می‌پردازیم. در ادامه روش &nbsp;ساخت موجبرهای پلیمری با استفاده از ماده </span></span><span dir="LTR">SU8-2002</span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> را شرح می‌دهیم. این ماده از نوع فوتورزیست منفی بوده که در اثر لیتوگرافی در محدوده طول موجی </span></span><span dir="LTR">UV</span><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> از مونومر تبدیل به پلیمر می‌شود و با حل کردن در حذف کننده آن طرح موردنظر باقی می‌ماند.روش کوپل کردن نور از فیبر به درون موجبرها توضیح داده می‌شود. همچنین به اثر تغییر قطبش بر جفت شدگی¹ &nbsp;این نوع از موجبرها خواهیم پرداخت. </span></span> In this paper we emphasize on importance of optical integrated circuit in technology and material that used in fabrication of them. We also study the fabrication of polymeric waveguides with SU8 -2002.this material is a negative photoresist which changes from monomer to polymer by UV lithography and after developing and eliminate of monomers from sample surface can have any designed structures. Besides, the influence of polarization variation in this type of waveguides will be discussed. پلیمر , فوتورزیست , قطبش , کوپلینگ, لیتوگرافی coupling, Lithography, Photoresist, Polarization, Polymer 581 584 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2103&slc_lang=fa&sid=1 Peyman Malekzadeh پیمان ملک زاده 10031947532846008705 10031947532846008705 Yes Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی Gholam mohamad Parsanasab غلام محمد پارسا نسب 10031947532846008706 10031947532846008706 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی Ezzedin Mohajerani عزالدین مهاجرانی 10031947532846008707 10031947532846008707 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی