fa میکروماشین‌کاری کریستال Yb:YAG به وسیله میکرولیزرکیوسویچ انفعالی Nd:YAG تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در این مقاله به بررسی میکروماشین&rlm;کاری کریستال </span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:10.0pt;">Yb:YAG</span></span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> به وسیله میکرولیزرکیوسویچ انفعالی&nbsp; </span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:10.0pt;">Nd:YAG</span></span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> با پهنای پالس </span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:11.0pt;">ps</span></span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">450 و انرژی </span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:11.0pt;">j</span></span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:11.0pt;">&mu;</span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">250 پرداخته شده است. پرتوی میکرولیزر با طول موج </span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:11.0pt;">nm</span></span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">1064 پس از عبور از سیستم اپتیکی مناسب بر سطح کریستال درحال حرکت در نقطه کانونی تابیده می&rlm;شود و ساختار میکروکانال براثر کندگی پلاسمایی ایجاد می&rlm;گردد. بسته به تعداد رفت و برگشت پرتوی لیزر، عمق میکروکانالهابا یکدیگر متفاوت می&rlm;باشد. در این گزارش همچنین به برش کریستال &nbsp;</span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:11.0pt;">Yb:YAG</span></span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> با استفاده ازروش خراش و برش پرداخته شده است. بدین منظور میکروکانال ساخته شده با روش قبل، تحت تابش لیزر </span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:11.0pt;">CO₂</span></span></span></strong><strong><span style="color:windowtext;"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> قرار گرفت و برش کریستال با لبه هایی صاف و بدون ترک انجام شد.</span></span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="color:windowtext;"><span style="font-size:11.0pt;"></span></span></span></strong> <strong>In this paper we have investigated the micromachining of Yb:YAG crystal using passively Q-Switched Nd:YAG microlaser with 450ps pulse width and 250&micro;j energy per pulse. The laser beam after passing appropriate optics was focused on the crystal surface that was translated in the focal point and fabricated the microchannel structure by the plasma ablation. Depend on laser beam roundtrip the mirochannels depth were different. We also report the Yb:YAG crystal cutting by scribe and break method. In this way first a microchannel was fabricated (scribing line) and then CO₂ laser beam was used to irradiate on it to separate the crystal with smooth cut edges and without cracks.</strong> کریستالYb:YAG, میکرولیزر Nd:YAG, میکروماشین‌کاری Yb:YAG crystal, Nd:YAG microlaser, micromachining 441 444 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2062&slc_lang=fa&sid=1 Elmira Hajinia المیرا حاجی نیا 10031947532846008545 10031947532846008545 Yes Iranian National Center for Laser Sience and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران Samira Alipour سمیرا علیپور 10031947532846008546 10031947532846008546 No Iranian National Center for Laser Sience and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران Maryam Jandaghi مریم جندقی 10031947532846008547 10031947532846008547 No Iranian National Center for Laser Sience and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران Zahra Mohammadzaheri زهرا محمدظاهری 10031947532846008548 10031947532846008548 No Iranian National Center for Laser Sience and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران Saeed Salimian rizi سعید سلیمیان ریزی 10031947532846008549 10031947532846008549 No Iranian National Center for Laser Sience and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران Mohammad Dashkasan محمد داشکسن 10031947532846008550 10031947532846008550 No Iranian National Center for Laser Sience and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران Seyed Hasan Nabavi سید حسن نبوی 10031947532846008551 10031947532846008551 No Iranian National Center for Laser Sience and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران