fa طراحی و شبیه‌سازی حسگر زیست محیطی ممز با تشخیص نوری تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در این مقاله یک حسگر </span></span></strong><strong><span dir="LTR">Bio-MEMS</span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> برای تشخیص مولکول&shy;های زیستی طراحی شده است. این حسگر مبتنی بر تنش سطحی عمل می&shy;کند. هنگامی که نمونه در مجاورت حسگر قرار گیرد، مولکول&shy;های هدف که در نمونه وجود دارند توسط گیرنده&shy;ها جذب می&shy;شوند. جذب شدن این مولکول&shy;ها باعث تغییر شکل صفحه متحرک می&shy;شود. با اندازه&shy;گیری مقدار جابجایی، مقدار مولکول&shy;های هدف در نمونه مشخص می&shy;شود. اندازه&shy;گیری مقدار جابجایی با استفاده از یک رزوناتور حلقه&shy;ای نوری به صورت فیلتر تمام&shy;گذر انجام می&shy;شود. استفاده از ساختار نوری در تشخیص، باعث افزایش حساسیت در این حسگر شده است. مطابق شبیه&shy;سازی&shy;های انجام شده حساسیت نوری این حسگر </span></span></strong><span style="position:relative;top:5.5pt;"><span style="font-family:Calibri,sans-serif;"><span style="font-size:11.0pt;"> <img alt="" chromakey="white" src="file:///C:/Users/MOH3N/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.png" > </span></span></span><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">&nbsp;005/0 </span></span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">&nbsp;می&shy;باشد. مد ارتعاشی اول برای حسگر طراحی شده </span></span></strong><strong><span dir="LTR">KHz</span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">99 و پهنای باند آن </span></span></strong><strong><span dir="LTR">KHz</span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">5 می&shy;باشد. </span></span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"></span></span></strong> In this paper, a Bio-MEMS sensor is designed to detect biomolecules. This sensor is based on surface tension. When the sample is adjacent to the sensor, the target molecules present in the sample are absorbed by the receptors. The absorption of these molecules causes the plate to move. The amount of target molecules in a sample is determined by measuring the amount of displacement. The amount of displacement is measured using an optical ring resonator as all pass filter. The use of optical structure in detection has increased the sensitivity of this sensor. According to simulations, the optical sensitivity of this sensor is <span dir="RTL">005/0</span> <img alt="" chromakey="white" src="file:///C:/Users/MOH3N/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.png" > . The first resonance mode for the sensor is <span dir="RTL">99</span> KHz and its bandwidth is <span dir="RTL">5</span> KHz. حسگر, رزوناتور حلقه‌ای نوری, سامانه‌های میکروالکترومکانیکی, موجبر micro electromechanical systems, optical ring resonator sensor, waveguide. 389 392 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2048&slc_lang=fa&sid=1 Mahdieh Khorsandifard مهدیه خرسندی فرد 10031947532846008497 10031947532846008497 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی Yashar Gholami mehrabadi یاشار غلامی مهرآبادی 10031947532846008498 10031947532846008498 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی Kian Jafari کیان جعفری 10031947532846008499 10031947532846008499 Yes Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی