fa طراحی و شبیه سازی فیلتر نوری تنظیم پذیر فابری-پرو با تکنولوژی M‏OEMS تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">تداخل سنج های اپتیکی، در زمینه&shy;هایی که احتیاج به تنظیم دقیق طول موج دارند بسیار پرکاربرد هستند. تداخل&shy;سنج ها می&shy;توانند طول موج خاصی را با کمک تداخل های سازنده تقویت و بقیه طول موج ها را تضعیف کنند، و اگر در مسیر عبور نور قرار گیرند می توانند به عنوان یک فیلتر طول موج عمل کنند. یکی از انواع تداخل سنج های اپتیکی تداخل سنج فابری پرو می&shy;باشد. در این تحقیق با یکپارچه سازی فیلتر تنظیم پذیر اپتیکی فابری پرو که با دو عدد </span></span></strong><span dir="LTR">DBR</span><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> &nbsp;درست شده، با ادوات </span></span></strong><span dir="LTR">MEMS</span><strong><span style="font-family:b nazanin;">،</span></strong><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> فیلتر نوری با تنظیم پذیری الکتریکی ارائه می&shy;شود. ساختار فیلتر قابل تنظیم &nbsp;از دو بخش الکترواستاتیکی و اپتیکی تشکیل شده است. بخش اپتیکی شامل کاواک فابری پرو، که از یک جفت آینه&shy;</span></span></strong><span dir="LTR">DBR</span><strong><span style="font-family:b nazanin;"> &nbsp;با لایه هایی با </span></strong><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">ضریب شکست 1/2</span></span></strong><span dir="LTR">n_H=</span><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> و 1</span></span></strong><span dir="LTR">n_L=</span> <strong><span style="font-family:b nazanin;">، که </span></strong><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">یک طرف ثابت و طرف دیگر، متصل بر فینگر سیستم محرک</span></span></strong><span dir="LTR">MEMS</span><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> ، است.&nbsp; بخش الکترواستاتیکی ساختار، دارای درایوهای شانه ای است که با اعمال ولتاژ از 0 تا 4 ولت به شانه&shy;ها باعث تغییر طول کاواک و در نتیجه تغییر طول موج عبوری در محدوده &nbsp;1400 تا 1920 نانومتر، و محدوده&shy;ی تنظیم پذیری 520 نانومتر می&shy;شود. </span></span></strong><span dir="LTR"></span> Optical interferometers, are very useful in various fields, where requiring precise wavelength tuning. Interferometers can amplify certain wavelengths with constructive interference and attenuate the rest, and can act as a wavelength filter. One of the well-known optical interferometers is the Fabry Perot cavity. In this study, an electrically adjustable optical filter is provided by integrating the Fabry Perot interferometer with two DBRs. DBR mirrors are 5 periodic layer with refractive index 2.1 and 1 respectively. The electrostatic part of the structure is a comb drives which supplied from 0 to 4 volts to change the cavity length, thereby tuning the center wavelength in the range 1400 to 1920 nm, and the adjustable range 520nm achieved. فیلتر نوری تنظیم پذیر, کاواک فابری پرو, محرک شانه ای, MOEMS Tuneable Optical Filter, Fabry-perot Cavity, Comb Drive, MOEMS 801 804 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1932&slc_lang=fa&sid=1 Abdollah Alizadeh عبداله علیزاده 10031947532846008145 10031947532846008145 Yes Department of Electrical Engineering, University of Bonab دانشگاه بناب Fardin Rashmani فردین رشمانی 10031947532846008146 10031947532846008146 No Department of Electrical Engineering, University of Bonab دانشگاه بناب