fa تداخل‌سنج ترکیبی برای مشخصه‌یابی میکروعدسی‌ها تخصصی Special پژوهشي Research <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">در این مقاله با ترکیب دو تداخل‌سنج معروف، چیدمانی ارائه می‌شود که امکان تعیین ابیراهی‌های میکروعدسی‌ها و همچنین پارامترهای آنها مانند ضخامت، فاصله کانونی و شعاع انحنای سطوح را، بدون جابجا کردن عدسی، </span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">فراهم می‌کند. </span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">این</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">چیدمان،</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">ترکیبی</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">از </span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">تداخل‌سنج‌های&nbsp; </span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">تویمن</span></span></span><span style="font-family:bnazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">-</span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">گرین</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">و</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">ماخ</span></span></span><span style="font-family:bnazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">-</span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">زنر</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">است</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">که</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">مجهز</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">به یک</span></span></span> <span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">حسگر</span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> جبهه موج شاک-هارتمن</span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> می‌باشد. نحوه عملکرد </span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">چیدمان و نمونه‌هایی از نتایج اندازه‌گیری ارائه می‌شوند.</span></span></span> In this paper, we present a hybrid interferometer which allows the measurement of the aberrations of micro-lenses as well as the specification of the focal length, thickness, and radius of curvature. The Twyman-Green and Mach-Zehnder interferometers are experimentally combined for full characterization of micro-lenses. This hybrid interferometer is equipped with a Shack-Hartmann wavefront sensor for testing the quality of micro-lenses in transmission. We describe the technique and report some experimental results. ابیراهی, پارامترهای عدسی, .تداخل‌سنجی, حسگر شاک-هارتمن Aberration, Interferometry, Lens parameters, Shack-Hartmann sensor 477 480 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1760&slc_lang=fa&sid=1 Roghayeh Yazdani رقیه یزدانی 10031947532846007583 10031947532846007583 Yes Department of physics, University of Isfahan, Isfahan, Iran دانشگاه اصفهان Hamidreza Fallah حمیدرضا فلاح 10031947532846007584 10031947532846007584 No Department of physics, University of Isfahan, Isfahan, Iran دانشگاه اصفهان