fa مطالعه دقت اندازه‌گیری و تعیین مشخصات زبری سطح با استفاده از روش‌های فوریه و جابجایی فازی تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در این مقاله با استفاده از روش‌های جابجایی فازی و تبدیل فوریه، مشخصات سطوح با ناهمواری‌های مشخص تعیین شده است و خطای اندازه‌گیری هر یک از روش‌ها تعیین و مقایسه شده است. نتایج این مطالعه نشان می‌دهند که برای سطوح با تغییرات ناهمواری کند ، روش تبدیل فوریه و برای سطوح با تغییرات ناهمواری سریع ، روش جابجایی فازی (الگوریتم هاریهاران) مناسب‌ترین روش است.</span></span></strong> <p class="AbstractEnglish">In this paper, the measurement error of the Phase-shifting and Fast Fourier Transform (FFT) methods are obtained for different surface samples. According to the results, for surfaces in which the roughness changes are slow, FFT method is more accurate and for other roughness surfaces Phase-shifting technique is more appropriate.<b><!--stripped--><!--stripped--></b></p> ناهمواری سطح, تداخل سنجی,تبدیل فوریه,جابه‌جایی فاز surface roughness, interferometry, Phase-shifting, Fast Fourier Transform 73 76 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1742&slc_lang=fa&sid=1 Yazdan Rashidi یزدان رشیدی 10031947532846007532 10031947532846007532 Yes Department of Physics, Iran University of Science and Technology, Narmak, Tehran, Iran دانشگاه علم و صنعت ایران Mohammad hossein Mahdiyeh محمد حسین مهدیه 10031947532846007533 10031947532846007533 No Department of Physics, Iran University of Science and Technology, Narmak, Tehran, Iran دانشگاه علم و صنعت ایران Mohammad reza Jafarfard محمد رضا جعفر فرد 10031947532846007534 10031947532846007534 No Department of Physics, Iran University of Science and Technology, Narmak, Tehran, Iran دانشگاه علم و صنعت ایران