fa بررسی اثر دما و آهنگ لایه‌نشانی بر خواص فیزیکی فیلم ‌نازک نانومتری ITO تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">از مباحث با اهمیت در طراحی و ساخت قطعات نیمرسانای آلی، ساخت زیرلایه&shy; با ویژگی های اپتیکی و فیزیکی مناسب است. در این مطالعه تأثیر دماهای مختلف حین لایه&shy;نشانی و همچنین تغییر در آهنگ لایه&shy;نشانی بر زبری سطح و مقاومت الکتریکی لایه&shy;های نازک رسانای شفاف که ب</span></span></span></strong><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">ر </span></span></span></strong><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">زیرلایه ای از جنس </span></span></span></strong><span dir="LTR">BK7</span><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> لایه&shy;نشانی شده است، مورد بررسی قرار گرفت. بدین منظور لایه&shy;نازک نانومتری رسانای شفاف اکسید اینیدیوم آلاییده شده با قلع (</span></span></span></strong><span dir="LTR">ITO</span><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">) روی زیرلایه به روش کندوپاش </span></span></span></strong><span dir="LTR">DC</span><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> در دما و آهنگ&shy;های لایه&shy;نشانی مختلف، پوشش داده شده است. تأثیر گرمادهی در دو محیط خلأ و هوا پس از لایه&shy;نشانی بررسی شد. طیف عبوری در ناحیه مرئی بوسیله دستگاه طیف سنج دو پرتویی و مقاومت الکتریکی سطحی پوشش توسط دستگاه پروپ چهارسر اندازه&shy;گیری شده است. کیفیت و زبری سطح قطعه توسط</span></span></span></strong> <strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">میکروسکوپ </span></span></span></strong><span dir="LTR">AFM</span><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> بررسی شد. نتایج حاصل از آنالیزها نشان داد که کاهش آهنگ لایه&shy;نشانی، تأثیر بسزایی در کاهش <span style="color:black;">زبری سطح</span></span></span></span></strong><strong><span style="font-style:normal;"><span style="color:black;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> خطی</span></span></span></span></strong><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> فیلم و مقاومت الکتریکی نمونه&shy;ها دارد.</span></span></span></strong> In this work, the effect of substrate temperature and rate deposition&nbsp; on the electrical, optical, and morphology&nbsp; of ITO thin film&nbsp; coated&nbsp; by DC magnetron sputtering system on BK7 substrate have been experimentally investigated. After the deposition process, some of the sample were annealed in vacuum and air.&nbsp; The transmission spectra were measured before and after the annealing by spectrophotometer. The sheet resistance was measured with four-point tester.&nbsp; The surface topology was analyzed by an atomic force microscopie (AFM). Our experimental results indicate that the resistance and line roughness decreases by decreasing deposition rate. اکسید قلع و اینیدیوم(ITO), زبری سطح, طیف عبوری, لایه نشانی, مقاومت الکتریکی ITO thin film, Substrate temperature, Deposition rate, DC magnetron sputtering 45 48 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1613&slc_lang=fa&sid=1 Arezoo Moshabaki آرزو مشبکی 10031947532846007105 10031947532846007105 Yes Department of Physics, Shiraz University of Technology دانشگاه صنعتی شیراز Erfan Kadivar عرفان کدیور 10031947532846007106 10031947532846007106 No Department of Physics, Shiraz University of Technology دانشگاه صنعتی شیراز Alireza Firoozi Far علی رضا فیروزی فر 10031947532846007107 10031947532846007107 No Department of Physics, Shiraz University of Technology دانشگاه صنعتی شیراز