fa طراحی و شبیه سازی لایه های هسته و پوشش برای مدولاتور الکترو- اپتیک پلیمری تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">در این مقاله ضخامت لایه&shy;های هسته و پوشش بکار رفته برای ساخت یک مدولاتور موجبری الکترو-اپتیک پلیمری بر روی زیرلایه سیلیکون طراحی و شبیه&shy;سازی شده است. برای شبیه&shy;سازی پارامترهای مختلف این مدولاتور معرفی شده از روش انتشار پرتو </span></span></span></strong><span dir="LTR">(BPM)</span><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> استفاده شده است. ضخامت مناسب لایه هسته برای ساختن موجبر در عمق فیلم، ضخامت کافی لایه&shy;های پوشش بالایی و پایینی برای کاهش تلفات ناشی از جذب نور توسط الکترود فلزی، ضریب شکست بالای زیرلایه و از طرفی افزایش بازدهی مدولاسیون محاسبه شده است. ضخامت لایه پوشش به‌گونه‌ای تعیین شده است که به ازای تزویج نور لیزر با طول&shy;موج 980 نانومتر و قطبش </span></span></span></strong><span dir="LTR">TM</span><strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">، کمتر از&nbsp; 10% دامنه مود اصلی موجبر به لایه&shy;های پوشش برسد. برای زیرلایه سیلیکون پوشانده شده با </span></span></span></strong><span dir="LTR">SiO₂</span>&nbsp; <strong><span style="font-style:normal;"><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">به ضخامت 400 نانومتر، لایه هسته با ضریب شکست 63/1 و ضخامت 3 میکرومتر بین دو لایه پوشش زیر و رو به ضریب شکست 51/1 و ضخامت&shy;های به ترتیب 1 و 5/1 میکرومتر طراحی شده است. </span></span></span></strong> In this paper the thickness of core and cladding layers to fabricate a polymer Electro-Optic waveguide modulator is designed and simulated. To simulate the various parameters of this introduced modulator the beam propagation method (BPM) is used. The enough thickness of the core layer is chosen to fabricate the waveguide in depth of the film. The thickness of top and bottom cladding layers is adjusted to reduce the optical loss arising from absorption loss in the metal electrode and the high refractive index of the substrate. By this adjustment the modulation efficiency will be increased. The cladding layers thickness is defined as coupling 980nm laser light with TM polarization into the waveguide that about 10 percent of the peak value of the evanescent field of the fundamental mode extends into cladding layers. A Si substrate coated with SiO2 in a thickness of 400nm is used. For a core layer with refractive index of 1.63 and thickness of 3mm, the thickness of bottom and top cladding layers with refractive index of 1.51 are designed to be 1mm and 1.5mm respectively.&nbsp;&nbsp; مدولاتور, موجبر, ضریب شکست, الکترو- اپتیک modulator, waveguide, refractive index, electro-optic 601 604 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1459&slc_lang=fa&sid=1 Samaneh Hamedi سمانه حامدی 10031947532846006607 10031947532846006607 Yes Shiraz University of Technology دانشگاه صنعتی شیراز Omid Reza Daneshmandi امیدرضا دانشمندی 10031947532846006608 10031947532846006608 No ISRC پژوهشگاه فضایی ایران