fa خواص اپتیکی و الکتریکی پوشش‌های چندلایه‌ای FTO/Ag/FTO تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">با توجه به اهمیت کاهش مقاومت الکتریکی سطحی و ارتقاء بازدهی پوشش&shy;های هادی شفاف، در این گزارش پژوهشی سعی شده است با جایگزینی پوشش&shy;های چندلایه&shy;ای </span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="font-family:times new roman,serif;"><span style="font-size:10.0pt;">TCO/Metal/TCO</span></span></span></strong><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> به جای پوشش&shy;هی تک لایه هادی شفاف و بهینه&shy;سازی پارامترهای ساخت،&nbsp; تا حد مقدور ویژگی&shy;های اپتیکی و الکتریکی این ساختارها بهبود یابند. در این مقاله، تأثیر تغییر ضخامت لایه فلزی و نیز تأثیر دمای زیرلایه بر روی خواص اپتیکی و الکتریکی ساختار </span></span></strong>&nbsp;<strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;">چندلایه&shy;ا&shy;ی &nbsp;</span></span></strong><strong><span dir="LTR"><span style="font-family:times new roman,serif;"><span style="font-size:10.0pt;">FTO/Ag/FTO</span></span></span></strong><strong><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:10.0pt;"> مورد مطالعه قرار گرفته است. لایه اول و سوم به روش اسپری پایرولیز و لایه دوم به روش تبخیر حرارتی در خلأ لایه نشانی شده است. نتایج حاصل از این تحقیق نشان داد که با استفاده از پوشش&shy;های چند لایه یادشده می&shy;توان تا حدودی ضریب برتری پوشش&shy;های الکتریکی شفاف را بهبود بخشید.</span></span></strong> Due to importance of decreasing of electrical sheet resistance and improvement of efficiency in conducting oxides coatings, in this project we have tried to do this work by replacing of TCO single layer with TCO/Metal/TCO multilayer and optimization of deposition parameters.&nbsp; The effect of metal layer thickness and substrate temperature on optical and electrical properties of TCO/Metal/TCO were studied and reported. The first and third layers were deposited by spray pyrolysis technique and the metal layer was deposited by thermal vacuum deposition.The results of this investigation shows that it is possible to improve the TCO figure of merit by using of aforementioned multilayers. پوشش های هادی شفاف, پوشش های چندلایه ای, اسپری پایرولیزیز, لایه‌های نازک sistem of multilayer ,spray pyrolysis , thin films, 81 84 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1402&slc_lang=fa&sid=1 Fatemeh Razmgah فاطمه رزمگه fatemehrazmgah@yahoo.com 10031947532846006442 10031947532846006442 Yes University of Sistan & Baluchestan دانشگاه سیستان و بلوچستان Saeed Hadavi سعید هادوی m.s.hadavi@phys.usb.ac.ir 10031947532846006443 10031947532846006443 No University of Sistan & Baluchestan دانشگاه سیستان و بلوچستان