fa بررسی و مقایسه دو روش تداخل سنجی جابجایی فاز و تبدیل فوریه در اندازه‌گیری مورفولوژی سطوح تخصصی Special پژوهشي Research <p><span dir="RTL">در این مقاله، دو روش تداخل‌سنجی برای اندازه‌گیری مورفولوژی سطح مورد بررسی قرار داده شده است. نمونه شبیه‌سازی در نظر گرفته‌شده برای این مطالعه، یک توری پراش 600 خط در میلی‌متر بود. طرح تداخلی برای این نمونه شبیه‌سازی شد و روش‌های تبدیل فوریه و جابجایی فاز برای استخراج پروفایل سطح نمونه از این طرح تداخلی بکار گرفته شد. کدهای مربوط به هرکدام از روش‌ها در نرم‌افزار متلب نوشته شد و سپس با استفاده از پردازش تصویر عددی، پروفایل سطح به‌دست‌آمده از هر یک از روش‌ها مورد تحلیل و بررسی قرار داده شد. نتایج نشان می‌دهد که در سیستم‌های ایده‌آل با نویز بسیار کم، مقدار خطای اندازه‌گیری مورفولوژی در روش جابجایی فاز نسبت به روش تبدیل فوریه کمتر است. همچنین نشان داده می‌شود که حساسیت روش تبدیل فوریه به تغییرات نویز نسبت به روش جابجایی فاز کمتر است و این روش برای سیستم‌های با نویز زیاد نسبت به روش جابجایی فاز ارجحیت دارد.</span></p> <p>In this paper, two interferometric methods for surface morphology measurement has been investigated. The simulated sample considered for this study was a diffraction grating with 600 lines per millimeter. A simulated interference pattern for this sample was created and Fourier transform and phase shifting methods have been utilized for the extracting surface profile from that of interference pattern. The code for each method has been written in MATLAB and by using numerical image processing, the obtained surface profile for each method was analyzed. The results demonstrate that in the ideal systems with low percentage of noise the morphological error in phase shifting method is less than Fourier transform method. However, sensitivity of Fourier transform to noise variation is less than phase shifting method and it is recommended to use this method for the noisy systems.</p> پروفایل سنجی سطوح, نقشه سطح, تداخل‌سنجی جابجایی فاز, تداخل سنجی تبدیل فوریه 3-D surface profiling, map of surface, phase shifting interferometry, Fourier transform interferometry 517 520 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1199&slc_lang=fa&sid=1 siavash Bagherie سیاوش باقری siavash.bagherie@gmail.com 10031947532846005068 10031947532846005068 Yes دانشگاه علم و صنعت mohammad reza Jafarfard محمد رضا جعفر فرد mr_jafarfard@yahoo.com 10031947532846005069 10031947532846005069 No دانشگاه علم و صنعت mohammad hossein mahdieh محمد حسین مهدیه mahdm@iust.ac.ir 10031947532846005070 10031947532846005070 No دانشگاه علم و صنعت