fa بررسی تاثیر مدت زمان بازپخت بر خواص نوری لایه های نازک نانوساختار اکسید روی تهیه شده به روش کندوپاش مگنترونی تخصصی Special پژوهشي Research <p>لایه&shy; های نازک نانوساختار اکسید روی&nbsp; با استفاده از لایه نشانی فلز روی (<span dir="LTR">Zn</span>) خالص به روش کندوپاش مگنترونی روی زیر لایه &shy;ی کوارتز، و بازپخت آن در دمای ثابت&nbsp; ^{<span dir="LTR">&deg;</span>}<span dir="LTR">C</span> 700&nbsp; و بازه زمانی متغیر یک، دو، سه، چهار و پنج ساعت تهیه شدند. بررسی طیف فرابنفش و محاسبه پارامترهای نوری نشان داد که تغییر زمان باز پخت به عنوان یک عامل تاثیر گذار در خواص نوری لایه&shy; های نازک اکسید روی با کیفیت بالا مطرح است. &nbsp;برای انرژی&shy; های بالاتر از <span dir="LTR">eV</span> 3/25 رسانندگی نوری به صورت نمایی افزایش یافت که با محاسبات حاصل از اندازه گاف انرژی مطابقت دارد. به دلیل داشتن این خاصیت نانوساختارهای اکسید روی جهت استفاده در ساخت صفحات لمسی پیشنهاد می&shy; شود. مطالعه &shy;ی طیف فوتولومینسانس با گسیل شدید اکسیتونی نشانگر نقص کم نانوذرات اکسید روی تهیه شده به این روش است.</p> <p>Zn pure thin films were prepared by magnetron sputtering deposition on quartz substrate. Then, they were annealed at a temperature of 700&deg;C and 5 different time intervals, i.e., 1h, 2h, 3h, 4h and 5h to form zinc oxide nanostructure thin films. Investigation of UV spectrum as well as calculation of optical parameters showed that annealing duration is an important factor affecting optical properties of high quality ZnO thin films. For energies higher than 3.25 eV, optical conductivity increased exponentially which was corresponded with calculated energy gaps. As a result, this type of ZnO nanostructure thin films is recommended for manufacturing of high quality touch screens. On the other hand, study of photoluminescence spectrum with high exciton emission is a confirming factor of low defect of zinc oxide nanoparticles prepared by this method.</p> اکسید روی, بازپخت, طیف فوتولومینسانس, کندوپاش مگنترونی, نانوساختار Zinc Oxide, Annealing, Photoluminescence spectrum, Magnetron Sputtering, Nanostructure 877 880 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1161&slc_lang=fa&sid=1 Ali Habibi علی حبیبی alihabibi14@yahoo.com 10031947532846005779 10031947532846005779 Yes دانشگاه تبریز Sajedeh Mohammadi Aref ساجده محمدی عارف aref1234@gmail.com 10031947532846005780 10031947532846005780 No دانشگاه تبریز Hamid Naghshara حمید نقش آرا naghshara@tabrizu.ac.ir 10031947532846005781 10031947532846005781 No دانشگاه تبریز